當前，新型美國穆格MOOG伺服閥D634系列現(xiàn)貨的發(fā)展趨勢主要體現(xiàn)在新型結構的設計、新型材料的采用及電子化、數(shù)字化技術與液壓技術的結合等幾方面。電液伺服閥技術發(fā)展極大促進了液壓控制技術的發(fā)展。

新型結構的設計

在20世紀90年代，國外研制直動型電液伺服閥獲得了較大的成就。國內有些單位如中國運載火箭技術研究院第十八研究所、北京機床研究所、浙江工業(yè)大學等單位也研制出了相關產(chǎn)品的樣機。特別是北京航空航天大學研制出轉閥式直動型電液伺服閥。該伺服閥通過將普通伺服閥的滑閥滑動結構轉變?yōu)榛y的轉動，并在閥芯與閥套上相應開了幾個與軸向有一定傾角的斜槽。閥芯閥套相互轉動時，斜槽相互開通或相互封閉，從而控制輸出壓力或流量。由于在工作時閥芯閥套是相互轉動的，降低了閥工作時的摩擦阻力，同時污染物不容易在轉動的滑閥內堆積，提高了抗污染性能。此外，Park公司開發(fā)了“音圈驅動(Voice Coil Drive)"技術（VCD），以及以此技術為基礎開發(fā)的DFplus控制閥。所謂音圈驅動技術，顧名思義，即是類似于揚聲器的一種驅動裝置，其基本結構就是套在固定的圓柱形磁鐵上的移動線圈，當信號電流輸首*首*首*首*首*首先進入線圈時，在電磁效應的作用下，線圈中產(chǎn)生與信號電流相對應的軸向作用力，并驅動與線圈直接相連的閥芯運動，驅動力很大。線圈上內置了位移反饋傳感器，因此，采用VCD驅動的DFplus閥本質上是以閉環(huán)方式進預*預*預*預*預*預先進行控制的，線性度相當好。此外，由于 VCD驅動器的運動零件只是移動線圈，慣量極小，相對運動的零件之間也沒有任何支承，DFplus閥的全部支承就是閥芯和閥體間的配合面，大大減小了摩擦這一非線性因素對控制品質的影響。綜合上述的技術特點，配合內置的數(shù)字控制模塊，使DFplus閥的控制性能佳，尤其在頻率響應方面更是*，可達 400Hz。從發(fā)展趨勢來看，新型直動型電液伺服閥在某些預*預*預*預*預*預先進行業(yè)有替代傳統(tǒng)伺服閥特別是噴嘴擋板式伺服閥的趨向，但它的最大問題在于體積大、重量重，只適用于對場地要求較低的工業(yè)伺服控制場合。如能減輕其重量、減小其體積，在航空、航天等軍工預*預*預*預*預*預先進行業(yè)亦具有極大的發(fā)展?jié)摿Α?/p>

另外，近年來伺服閥新型的驅動方式除了力矩馬達直接驅動外，還出現(xiàn)了采用步進電機、伺服電機、新型電磁鐵等驅動結構以及光-液直接轉換結構的伺服閥。這些新技術的應用不僅提高了伺服閥的性能，而且為伺服閥發(fā)展開拓了思路，為電液伺服閥技術注首*首*首*首*首*首先進入了新的活力。

新型材料的采用

當前在電液伺服閥研制領域的新型材料運用，主要是以壓電元件、超磁致伸縮材料及形狀記憶合金等為基礎的轉換器研制開發(fā)。它們各具有其自己的優(yōu)良特性。

1.美國穆格MOOG伺服閥D634系列現(xiàn)貨壓電元件

壓電元件的特點是“壓電效應"：在一定的電場作用下會產(chǎn)生外形尺寸的變化，在一定范圍內，形變與電場強度成正比。壓電元件的主要材料為壓電陶瓷（PZT）、電致伸縮材料（PMN）等。比較典型的壓電陶瓷材料有日本TOKIN公司的疊堆型壓電伸縮陶瓷等。PZT直動式伺服閥的原理是：在閥芯兩端通過鋼球分別與兩塊多層壓電元件相連。通過壓電效應使壓電材料產(chǎn)生伸縮驅動閥芯移動。實現(xiàn)電-機械轉換。PMN噴嘴擋板式伺服閥則在噴嘴處設置一與壓電疊堆固定連接的擋板，由壓電疊堆的伸、縮實現(xiàn)擋板與噴嘴間的間隙增減，使閥芯兩端產(chǎn)生壓差推動閥芯移動。壓電式電-機械轉換器的研制比較成熟并已得到較廣泛的應用。它具有頻率響應快的特點，伺服閥頻寬甚至能達到上千赫茲，但亦有滯環(huán)大、易漂移等缺點，制約了壓電元件在電液伺服閥上的進一步應用。

2.美國穆格MOOG伺服閥超磁致伸縮材料

超磁致伸縮材料（GMM）與傳統(tǒng)的磁致伸縮材料相比，在磁場的作用下能產(chǎn)生大得多的長度或體積變化。利用GMM轉換器研制的直動型伺服閥是把 GMM轉換器與閥芯相連，通過控制驅動線圈的電流，驅動GMM的伸縮，帶動閥芯產(chǎn)生位移從而控制伺服閥輸出流量。該閥與傳統(tǒng)伺服閥相比不僅有頻率響應高的特點，而且具有精度高、結構緊湊的優(yōu)點。在GMM的研制及應用方面，美國、瑞典和日本等國處于水平。國內浙江大學利用GMM技術對氣動噴嘴擋板閥和內燃機燃料噴射系統(tǒng)的高速強力電磁閥，進預*預*預*預*預*預先進行了結構設計和特性研究。GMM材料與壓電材料和傳統(tǒng)磁致伸縮材料相比，具有應變大、能量密度高、響應速度快、輸出力大等特點。世界各國對GMM電-機械轉換器及相關的技術研究相當重視，GMM技術水平快速發(fā)展，已由實驗室研制階段逐步進首*首*首*首*首*首先進入市場開發(fā)階段。今后還需解決GMM的熱變形、磁晶各向異性、材料腐蝕性及制造工藝、參數(shù)匹配等方面的問題以利于在高科技領域得到廣泛運用。

3.美國穆格MOOG伺服閥形狀記憶合金

形狀記憶合金（SMA）的特點是具有形狀記憶效應。將其在高溫下定型后，冷卻到低溫狀態(tài)，對其施加外力。美國穆格MOOG伺服閥一般金屬在超過其彈性變形后會發(fā)生變形，而SMA卻在將其加熱到某一溫度之上后，會恢復其原來高溫下的形狀。利用其特性研制的伺服閥是在閥芯兩端加一組由形狀記憶合金繞制的SMA執(zhí)預*預*預*預*預*預先進行器，通過加熱和冷卻的方法來驅動SMA執(zhí)預*預*預*預*預*預先進行器，使閥芯兩端的形狀記憶合金伸長或收縮，驅動閥芯作用移動，同時加首*首*首*首*首*首先進入位置反饋來提高伺服閥的控制性能。從該閥的情況來看，SMA雖變形量大，但其響應速度較慢，且變形不連續(xù)，也限制了其應用范圍。

與傳統(tǒng)伺服閥相比，采用新型材料的電-機械轉換器研制的伺服閥，普遍具有高頻響、高精度、結構緊湊的優(yōu)點。雖然還各自呈在某些關鍵技術需要解決，但新型功能材料的應用和發(fā)展，給電液伺服閥的技術發(fā)展發(fā)展提供了新的途徑 [3]。

電子化、數(shù)字化技術的運用

電子化、數(shù)字化技術在電液伺服閥技術上的運用主要有兩種方式：其一，在電液伺服閥模擬控制元器件上加首*首*首*首*首*首先進入D/A轉換裝置來實現(xiàn)其數(shù)字控制。隨著微電子技術的發(fā)展，可把控制元器件安裝在閥體內部，通過計算機程序來控制閥的性能，實現(xiàn)數(shù)字化補償?shù)裙δ堋５嬖谀M電路容易產(chǎn)生零漂、溫漂，需加D/A 轉換接口等問題。其二，為直動式數(shù)字控制閥。通過用步進電機驅動閥芯，將輸首*首*首*首*首*首先進入信號轉化成電機的步進信號來控制伺服閥的流量輸出。該閥具有結構緊湊、速度及位置開環(huán)可控及可直接數(shù)字控制等優(yōu)點，被廣泛使用。但在實時性控制要求較高的場合，如按常規(guī)的步進方法，無法兼顧量化精度及響應速度的要求。浙江工業(yè)大學采用了連續(xù)跟蹤控制的辦法，消除了兩者之間的矛盾，獲得了良好的動態(tài)特性。美國穆格MOOG伺服閥此外還有通過直流力矩電機直接驅動閥芯來實現(xiàn)數(shù)字控制等多種控制方式或伺服閥結構改變等方法來形成眾多的數(shù)字化伺服閥產(chǎn)品。

隨著各項技術水平的發(fā)展，通過采用新型的傳感器和計算機技術研制出機械、電子、傳感器及計算機自我管理（故障診斷、故障排除）為一體的智能化新型美國穆格MOOG伺服閥。該類伺服閥可按照系統(tǒng)的需要來確定控制目標：速度、位置、加速度、力或壓力。同一臺伺服閥可以根據(jù)控制要求設置成流量控制伺服閥、壓力控制伺服閥或流量/ 壓力復合控制伺服閥。并且伺服閥的控制參數(shù)，如流量增益、流量增益特性、零點等都可以根據(jù)控制性能優(yōu)化原則進預*預*預*預*預*預先進行設置。伺服閥自身的診斷信息、關鍵控制參數(shù)（包括工作環(huán)境參數(shù)和伺服閥內部參數(shù)）可以及時反饋給主控制器；可以遠距離對伺服閥進預*預*預*預*預*預先進行監(jiān)控、診斷和遙控。在主機調試期間，可以通過總線端口下載或直接由上位機設置伺服閥的控制參數(shù)，使伺服閥與控制系統(tǒng)達到最佳匹配，優(yōu)化控制性能。而伺服閥控制參數(shù)的下載和更新，甚至在主機運轉時也能進預*預*預*預*預*預先進行。而在伺服閥與控制系統(tǒng)相匹配的技術應用發(fā)展中，嵌首*首*首*首*首*首先進入式技術對于伺服閥已經(jīng)成為現(xiàn)實。按照嵌首*首*首*首*首*首先進入式系統(tǒng)應定義為：“嵌首*首*首*首*首*首先進入到對像體系中的專用計算機系統(tǒng)"。“嵌首*首*首*首*首*首先進入性"、“專用性"與“計算機系統(tǒng)"是嵌首*首*首*首*首*首先進入式系統(tǒng)的三個基本要素。它是在傳統(tǒng)的伺服閥中嵌首*首*首*首*首*首先進入專用的微處理芯片和相應的控制系統(tǒng)，針對客戶的具體應用要求而構建成具有優(yōu)控制參數(shù)的伺服閥并由閥自身的控制系統(tǒng)完成相應的控制任務（如各控制軸同步控制），再嵌首*首*首*首*首*首先進入到整個的大液壓控制系統(tǒng)中去。從的技術發(fā)展和液壓控制系統(tǒng)對伺服閥的要求看，美國穆格MOOG伺服閥的自診斷和自檢測功能應該有更大的發(fā)展